| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
m |
| 001 |
Контрольный номер |
LIBNET\0001001900 |
| 005 |
Дата корректировки |
20250520121935.7 |
| 010 |
Индекс ISBN |
__ |
| a |
ISBN |
978-5-9729-0337-5 |
| d |
Цена |
910 р. |
| b |
Уточнения |
в пер. |
| 100 |
Данные общей обработки |
__ |
| a |
Данные общей обработки |
20190710d2019 u y0rusy50 ca |
| 101 |
Язык документа |
0_ |
| a |
Язык текста |
rus |
| 102 |
Страна публикации |
__ |
| a |
Страна публикации |
RU |
| 105 |
Кодированные данные (монография) |
__ |
| a |
Кодированные данные (монография) |
a j 000yy |
| 200 |
Заглавие и сведения об ответственности |
1_ |
| a |
Заглавие |
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике |
| e |
Сведения, относящиеся к заглавию |
учеб. пособие |
| f |
Первые сведения об ответственности |
Ю.А. Родионов |
| 210 |
Выходные данные |
1_ |
| a |
Место издания |
Москва |
| a |
Место издания |
Вологда |
| c |
Издательство |
Инфра-Инженерия |
| d |
Дата издания |
2019 |
| 215 |
Физическое описание |
__ |
| a |
Объем |
350 с. |
| c |
Иллюстрации/тип воспроизводства |
цв. ил., рис., портр. |
| d |
Формат |
22 см |
| 320 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: с. 350 |
| 330 |
Аннотация |
__ |
| a |
Аннотация |
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. |
| 606 |
Тематические рубрики |
0_ |
| a |
Основная рубрика |
Микроэлектроника |
| j |
Формальный подзаголовок |
Учебники и пособия для вузов |
| 606 |
Тематические рубрики |
0_ |
| a |
Основная рубрика |
Наноэлектроника |
| j |
Формальный подзаголовок |
Учебники и пособия для вузов |
| 610 |
Ключевые слова |
0_ |
| a |
Ключевые слова |
микроэлектроника; наноэлектроника; микросхемы; микросхемы интегральные |
| 686 |
Индексы других классификаций |
__ |
| a |
Классификационный индекс |
32.844.1я73 |
| 2 |
Код системы |
rubbk |
| 686 |
Индексы других классификаций |
__ |
| a |
Классификационный индекс |
32.844.2я73 |
| 2 |
Код системы |
rubbk |
| 700 |
Автор |
_1 |
| a |
Фамилия |
Родионов |
| b |
Имя (инициалы) |
Ю.А. |
| g |
Полное личное имя |
Юрий Анатольевич |
| 801 |
Источник записи |
_0 |
| a |
Страна |
RU |
| b |
Организация |
Тюменская ОНБ |
| c |
Дата составления |
20190710 |
| g |
Правила каталогизации |
rcr |
| 801 |
Источник записи |
_1 |
| a |
Страна |
RU |
| b |
Организация |
Ульяновская ОНБ |
| c |
Дата составления |
20220413 |
| 2 |
Код формата |
rusmarc |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
m |
| 909 |
Создатель записи |
__ |
| a |
Создатель записи |
Пазекова |
| b |
Дата создания записи |
20220615 |